فلومتر بروکس 5850s از جمله خصوصیات MFC سری sla5850 پوشش رنج وسیعی از دبی(flow) ها با توجه به سفارش مصرف کننده می باشد که در بازه هایی کمتر از 3sccm تا 2500slm تولید می گردد. دقت اندازه گیری MFC سری sla5850 در بازه 20 الی 100 درصد سیگنال خروجی 1% از سیگنال خوانده شده و برای کمتر از این عدد 0.2% از بیشنیه اندازه گیری MFC مذکور می باشد. از دیگر خصوصیات مهم MFC سری sla5850 پایداری سنسور در برابر خروج از صفر (drift) می باشد که برای این سری 0.2% در طول یک سال می باشد.MFC های سری sla5850 شرکت Brooks دارا بودن 10 نمودار تبدیل گاز برای کاهش تعداد MFC های مورد نیاز برای یک پروژه می باشد. دارا بودن قابلیت شروع به کار نرم (soft start)شیر MFC در هنگام شروع بکار آن می باشد. علاوه بر قابلیت فوق الذکر استفاده از الگوریتم کنترلی قدرتمند برای کنترل شیر MFC باعث گردیده است که دستگاه در مقابل نوسانات فشاری و فلو در لوله منتهی به MFC کنترل پذیری مناسبی داشته و همچنان به کار کنترل خود ادامه بدهد. MFC سری sla5850 دارای پورت db15 بوده و دارای انواع خروجی های جریانی و ولتاژی می باشد. همچنین تغذیه این سری به صورت تک ولتاژ استاندارد 24-0 ولت که بازه 13.5 الی 27 نیز برای آن قابل پذیرش می باشد. MFC سری sla5850 شرکت بروکس با سه مدل شبکه صنعتی Hart,Fieldbus,DeviceNet قابل ارائه می باشد. این سری دارای عایق بندی لاستیکی (elastomer) بوده که بنابراین قابلیت استفاده برای گازهای خوردنده به صورت عادی را نخواهد داشت. با توجه به هدف طراحی این گروه که برای سیستم های پیشرفته گازرسانی می باشد پارامترهای دستگاه در وضعیت مناسبی طراحی و بهینه سازی گردیده اند. حذف

فلومتر بروکس 5850s از جمله خصوصیات MFC سری sla5850 پوشش رنج وسیعی از دبی(flow) ها با توجه به سفارش مصرف کننده می باشد که در بازه هایی کمتر از 3sccm تا 2500slm تولید می گردد. دقت اندازه گیری MFC سری sla5850 در بازه 20 الی 100 درصد سیگنال خروجی 1% از سیگنال خوانده شده و برای کمتر از این عدد 0.2% از بیشنیه اندازه گیری MFC مذکور می باشد. از دیگر خصوصیات مهم MFC سری sla5850 پایداری سنسور در برابر خروج از صفر (drift) می باشد که برای این سری 0.2% در طول یک سال می باشد.MFC های سری sla5850 شرکت Brooks دارا بودن 10 نمودار تبدیل گاز برای کاهش تعداد MFC های مورد نیاز برای یک پروژه می باشد. دارا بودن قابلیت شروع به کار نرم (soft start)شیر MFC در هنگام شروع بکار آن می باشد. علاوه بر قابلیت فوق الذکر استفاده از الگوریتم کنترلی قدرتمند برای کنترل شیر MFC باعث گردیده است که دستگاه در مقابل نوسانات فشاری و فلو در لوله منتهی به MFC کنترل پذیری مناسبی داشته و همچنان به کار کنترل خود ادامه بدهد. MFC سری sla5850 دارای پورت db15 بوده و دارای انواع خروجی های جریانی و ولتاژی می باشد. همچنین تغذیه این سری به صورت تک ولتاژ استاندارد 24-0 ولت که بازه 13.5 الی 27 نیز برای آن قابل پذیرش می باشد. MFC سری sla5850 شرکت بروکس با سه مدل شبکه صنعتی Hart,Fieldbus,DeviceNet قابل ارائه می باشد. این سری دارای عایق بندی لاستیکی (elastomer) بوده که بنابراین قابلیت استفاده برای گازهای خوردنده به صورت عادی را نخواهد داشت. با توجه به هدف طراحی این گروه که برای سیستم های پیشرفته گازرسانی می باشد پارامترهای دستگاه در وضعیت مناسبی طراحی و بهینه سازی گردیده اند. حذف